TY - RPRT A1 - Tränkle, G. A1 - Fabich, F. A1 - Schiller, Wolfgang A1 - Reiners, Georg A1 - Hübert, Thomas A1 - Beck, Uwe T1 - Abschlussbericht zum Vorhaben Aufbau und Inbetriebnahme eines Zentrums für Mikrosystemtechnik (ZEMI) in Berlin-Adlershof PY - 2003 SP - 1 EP - 17 PB - Europäischer Fond für Regionale Entwicklung (EFRE) CY - Berlin AN - OPUS4-25603 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -