TY - CONF A1 - Müller, J.-P. T1 - Plasmagestützte Herstellung von Magnetit-Schichten T2 - 9. Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie CY - Stuttgart, Germany DA - 1999-03-03 PY - 1999 AN - OPUS4-6228 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -