TY - GEN A1 - Böcker, Wolfgang D. G. ED - Kollenberg, W. T1 - Siliciumcarbid KW - Herstellung KW - Eigenschaften KW - Weltmarkt KW - Struktur KW - Phasenbeziehungen KW - Werkstoffe KW - Produkte und Anwendungen KW - Halbleiterindustrie PY - 2004 SN - 3-8027-2927-7 SP - 231 EP - 249 PB - Vulkan CY - Essen AN - OPUS4-4387 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -