Dokument-ID Dokumenttyp Autoren/innen Persönliche Herausgeber/innen Haupttitel Abstract Auflage Verlagsort Verlag Herausgeber (Institution) Erscheinungsjahr Titel des übergeordneten Werkes Jahrgang/Band ISBN Veranstaltung Veranstaltungsort Beginndatum der Veranstaltung Enddatum der Veranstaltung Ausgabe/Heft Erste Seite Letzte Seite URN DOI Lizenz Datum der Freischaltung OPUS4-25572 Zeitschriftenartikel Maser, K.; Mohr, U.; Leihkauf, R.; Ecker, Klaus; Beck, Uwe; Grambole, D.; Grötzschel, R.; Herrmann, F.; Krauser, J.; Weidinger, A. Hydrogen migration in wet-thermally grown silicon dioxide layers due to high dose 15N ion beam irradiation Three effects have been observed in wet-thermally grown structures under bombardement with energetic 15N ions: (1) Out-diffusion of H from the SiO2/Si system through the surface, (2) Accumulation of H at the SiO2/Si interface, (3) Changes in the optical fingerprint spectra of Ψ and Δ in dependence on λ (wavelength) obtained by ellipsometric measurements. Amsterdam Elsevier 1999 Microelectronic engineering 48 1-4 139 142 10.1016/S0167-9317(99)00356-1 2016-02-19 OPUS4-16699 Handbuch Ziemann, O.; Krauser, J.; Zamzow, P. E.; Daum, Werner POF handbook - Optical short range transmission systems 2. Berlin Springer 2008 978-3-540-76628-5 1 880 10.1007/978-3-540-76629-2 2016-02-19 OPUS4-15812 Handbuch Ziemann, O.; Krauser, J.; Zamzow, P. E.; Daum, Werner POF-Handbuch - Optische Kurzstrecken-Übertragungssysteme 2. Berlin Springer 2007 978-3-540-49093-7 1 880 2016-02-19