TY  - SLIDE
A1  - Cappella, Brunero
T1  - Dynamic Plowing Lithography
T2  - Workshop "Restersondenmikroskopie in Forschung und Industrie"
T2  - Workshop "Restersondenmikroskopie in Forschung und Industrie"
CY  - Berlin, Germany
DA  - 2001-03-08
PY  - 2001
AN  - OPUS4-7500
LA  - eng
AD  - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany
ER  -