TY - JOUR A1 - Beck, Uwe T1 - Trends in der Plasma- und Oberflächentechnik JF - Metalloberfläche T2 - 6th Conference on Plasma Surface Engineering (PSE) CY - Garmisch-Partenkirchen, Deutschland DA - 1998-09-14 PY - 1998 SN - 0026-0797 SN - 0043-2792 VL - 52 IS - 12 SP - 952 PB - IGT, Informationsges. Technik CY - München AN - OPUS4-606 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -