TY  - CONF
A1  - Santner, Erich
T1  - Reibungsmessungen im Mikro- und Nanobereich
T2  - VDI Fachtagung "Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik"
T2  - VDI Fachtagung "Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik"
CY  - Stuttgart, Germany
DA  - 2003-02-13
PY  - 2003
AN  - OPUS4-4299
LA  - deu
AD  - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany
ER  -