TY - CONF A1 - Schiller, Wolfgang Arno T1 - Keramische Multilayer für Mikrosysteme im Bereich Sensorik, Biomedizin und Energietechnik T2 - Symposium "Vision Keramik 2008++" T2 - Symposium "Vision Keramik 2008++" CY - Dresden, Germany DA - 2008-01-17 PY - 2008 AN - OPUS4-15870 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -