TY - CHAP A1 - Friedrich, Jörg Florian ED - Blasek, G. ED - Bräuer, G. T1 - Plasmapolymerisation T2 - Vakuum - Plasma - Technologien - Beschichtung und Modifizierung von Oberflächen - Teil I KW - Plasma-Oberflächenreinigung PY - 2010 SN - 978-3-87480-257-4 IS - Kap. 2.4 SP - 356 EP - 451 PB - Eugen G. Leuze CY - Bad Saulgau AN - OPUS4-23274 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -