TY - JOUR A1 - Beck, Uwe T1 - Spektroskopische Ellipsometrie: Mehr als ein Reflexionsexperiment mit polarisiertem Licht! JF - Journal für Oberflächentechnik PY - 2000 SN - 0021-3756 VL - 40 IS - 11 SP - 14 EP - 19 PB - Vieweg CY - Wiesbaden AN - OPUS4-1025 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -