TY - CONF A1 - Krüger, Jörg A1 - Legall, Herbert A1 - Schwanke, Christoph A1 - Bonse, Jörn T1 - Röntgenemission bei der UKP-Laser-Materialbearbeitung N2 - Der Vortrag stellt Untersuchungen im Rahmen eines BMBF-geförderten Vorhabens zur unerwünschten Röntgenemission bei der Materialbearbeitung mit ultrakurzen Laserpulsen vor. T2 - Seminar LEF - Laser in der Elektronikproduktion & Feinwerktechnik CY - Fürth, Germany DA - 26.02.2019 KW - Ultrakurze Laserpulse KW - Materialbearbeitung KW - Sekundärstrahlung KW - Röntgenemission KW - Laserschutz PY - 2019 AN - OPUS4-47468 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -