TY - CONF A1 - Wollschläger, Nicole T1 - Biegeversuche an SI- und SIO2-Nanodrähten N2 - 3-Punkt Biegeversuche an Si-basierten Mikro/Nanodrähten wurden im REM mittels Mikromanipulator mit Kraftmessspitze durchgeführt. Die Kraft wurde nach Kalibrierung der Messspitze direkt abgegriffen. Die Auslenkung des Drahtes wurde durch eine Videosequenz im REM aufgenommen und anschließend über die Bildkorrelation ausgewertet. Kraft-Weg-Kurven konnten erstellt werden, um die elastischen Eigenschaften der Drähte zu ermitteln. Die Daten wurden mit FEM-Simulationen und Literatur verglichen. Bruchmechanische Eigenschaften wurden ebenfalls in guter Übereinstimmung mit anderen Verfahren quantifiziert. T2 - 4. Treffen AG "In-situ Prüfung im REM" CY - Kaiserslautern, Germany DA - 22.03.2016 KW - Bildkorrelation KW - Silicium Nanodrähte KW - Mechanisches Testen KW - Rasterelektronenmikroskop PY - 2016 AN - OPUS4-38248 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -