TY - CONF A1 - Beck, Uwe A1 - Unger, Wolfgang A1 - Griepentrog, Michael A1 - Hertwig, Andreas T1 - Plasma Germany, Fachausschuss Normung, Herbstsitzung 2016 N2 - Der Stand der Normung im Bereich der Oberflächentechnik wird zusammengefasst. Aktuelle Normungsvorhaben zur chemischen Oberflächenanalyse, Rastersondenmikroskopie, Nanotechnologie, Oberflächenmesstechnik im Mikro- und Nanobereich, für Anwendungen von Kohlenstoffschichten sowie von Mess- und Prüfverfahren für metallische und anorganische Überzüge werden vorgestellt. Ein Ringversuch zur Klassifizierung von Kohlenstoffschichten mittels Ellipsometrie wird diskutiert. Abschließend wird das DIN-Terminologie Portal erläutert. T2 - Lenkungsausschuss von Plasma Germany, Fachausschuss Normung, Herbstsitzung 2016 CY - Stuttgart, Germany DA - 27.10.2016 KW - Stand der Normung KW - Oberflächentechnik KW - Schichttechnik PY - 2016 AN - OPUS4-38068 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -