TY - CONF A1 - Procop, Mathias A1 - Beck, Uwe A1 - Hasche, K. A1 - Ulm, G. A1 - Herrmann, K. A1 - Krumrey, M. A1 - Ade, G. A1 - Sümpel, J. A1 - Busch, I. A1 - Thomsen-Schmidt, P. A1 - Schädlich, S. A1 - Schindler, A. A1 - Frank, W. T1 - About the calibration of thickness standards on the nanometer scale T2 - EUSPEN 2002 T2 - EUSPEN 2002 CY - Eindhoven, Netherlands DA - 2002-05-26 PY - 2002 AN - OPUS4-3259 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -