TY - CONF A1 - Segebade, Christian A1 - Gührs, E A1 - Zweigler, P. T1 - Die berührungsfreie Dickenmessung und Analyse sehr dünner Schichten mit nuklidangeregter Röntgenfluoreszenz T2 - DGZfP-Jahrestagung 2002: ZfP in Anwendung, Entwicklung und Forschung T2 - DGZfP-Jahrestagung 2002: ZfP in Anwendung, Entwicklung und Forschung CY - Weimar, Germany DA - 2002-05-06 PY - 2002 AN - OPUS4-3005 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -