@inproceedings{LangeHiddeBecketal.2019, author = {Thorid Lange and Gundula Hidde and Uwe Beck and F. Naumann and I. K{\"a}rkk{\"a}nen and H. Gargouri}, title = {Nanoskalige Haftvermittler zur Erh{\"o}hung der Haft- bzw. Klebfestigkeit unter Verwendung von ALD-Hybridprozessen}, booktitle = {14. ThGOT ThementageTagungsband Grenz- und Oberfl{\"a}chentechnik und 6. Kolloquium D{\"u}nne Schichten in der Optik}, pages = {1 -- 2}, year = {2019}, }