@inproceedings{FischerBeck2019, author = {Daniel Fischer and Uwe Beck}, title = {Visualisierung von mikro- und nanoskalierten Oberfl{\"a}chenstrukturen mittels abbildender Ellipsometrie}, booktitle = {Tagungsband, 14. ThGOT Thementage Grenz- und Oberfl{\"a}chentechnik und 6. Kolloquium D{\"u}nne Schichten in der Optik}, pages = {1 -- 5}, year = {2019}, }