TY - GEN A1 - Bayerlein, Bernd T1 - Probenpräparation für AFM-basierte Untersuchungsverfahren N2 - Adapted and advanced sample preparation of semiconductor layer systems with the focused ion beam for AFM-based test methods N2 - Der vorliegende Vortrag gibt einen Überblick über Probenpräparationen mit der Focused Ion Beam (FIB) für AFM-basierte Untersuchungsverfahren. Anhand zweier Beispiele wird gezeigt, wie ionenstrahlpolierte Lamellen aus Halbleiter-Schichtsystemen elektrisch leitfähig auf Substrate platziert werden, so dass in-situ und in-operando Messungen mit Scanning Microwave Microscope (SMM) bzw. Spectroscopic infrared scanning near-field optical microscope (IR-SNOM) durchgeführt werden können. T2 - 15. Berlin-Brandenburger Präparatorentreffen CY - Potsdam/Golm, Germany DA - 11.04.2019 KW - Focused Ion Beam KW - AFM based test methods KW - Sample preparation KW - Semiconductor materials KW - Layer system PY - 2019 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-bam/frontdoor/index/index/docId/47784 AN - OPUS4-47784 AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany