TY - GEN A1 - Rabe, Torsten T1 - Alternative Verfahren zur Strukturierung von Grünfolien und Laminaten N2 - Die Strukturierung keramischer Grünfolien und Laminate ist ein wesentlicher Prozessschritt in der keramischen Multilayer-Technologie und begründet die funktionelle Vielfalt keramischer Multilayer. Benötigt wird die Grünbearbeitung für die Herstellung elektrischer und thermischer Vias sowie innerer Kavitäten und Kanäle für Transport und Lagerung von Gasen und Flüssigkeiten in hochintegrierten Schaltungsträgern, Sensoren und Reaktoren. Standardverfahren in der industriellen Fertigung sind Heißschneiden, Stanzen und Laserbearbeitung. Darüber hinaus werden auch Bohren, Fräsen, Sägen und Heißprägen verwendet. Über die Erprobung weiterer Verfahren wie Wasserstrahlschneiden, Dampfstrahlätzen und Powder Blasting wird in der Literatur berichtet. Im Vortrag werden spezifische Vor- und Nachteile der eingesetzten Verfahren beleuchtet. Abschließend werden die Kriterien für die Auswahl des optimalen Strukturierungsverfahrens diskutiert. Zusammensetzung und Gefüge sowie die dadurch bedingten mechanischen und thermomechanischen Eigenschaften sowie das Absorptionsverhalten von Grünfolien sind sehr unterschiedlich. Daraus resultieren unterschiedliche optimale Bearbeitbarkeitsparameter. T2 - DKG-Seminar "Foliengieß- und Schlitzdüsenverfahen" CY - Hermsdorf, Germany DA - 05.11.2019 KW - Stanzen KW - Keramische Folien KW - Laserbearbeitung KW - Grünfolieneigenschaften PY - 2019 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-bam/frontdoor/index/index/docId/49742 AN - OPUS4-49742 AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany