TY - JOUR A1 - Schiller, Wolfgang Arno A1 - Eberstein, Markus A1 - Müller, Ralf T1 - Glas-Keramik-Komposite für Mikrosysteme und Sensoren JF - DGG-Journal PY - 2002 SN - 1618-8721 VL - 1 IS - 2 SP - 17 PB - Deutsche Glastechnische Gesellschaft CY - Offenbach AN - OPUS4-3115 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -