TY - CONF A1 - Güther, Wolfgang A1 - Gemeinert, Marion A1 - Schiller, Wolfgang Arno T1 - Sensoren als Mikrosysteme T2 - Messe und Kongress Mikrosystemtechnik mSYS T2 - Messe und Kongress Mikrosystemtechnik mSYS CY - Berlin, Germany DA - 2003-04-28 PY - 2003 AN - OPUS4-4732 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -