TY - GEN A1 - Österle, Werner A1 - Urban, Ingrid A1 - Nebauer, E. A1 - Ressel, P. ED - Thomann, H. T1 - Metallurgie von Ohmschen Kontakten auf aktiven Halbleiterschichten T2 - Werkstoffe für die Informationstechnik (Werkstoffwoche '96 Symposium 1) T2 - Werkstoffwoche '96 (WW) CY - Stuttgart, Deutschland DA - 1996-05-28 PY - 1997 SN - 3-88355-229-1 VL - 1 SP - 199 EP - 204 PB - DGM Informationsges. CY - Frankfurt AN - OPUS4-2546 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -