TY - JOUR A1 - Österle, Werner T1 - Bohrer für den Nanometerbereich - Mikrobearbeitung und Gefügedarstellung mit der Technik des fokussierten Ionenstrahls (FIB) JF - Materialprüfung = Materials testing KW - FIB KW - Mikrobearbeitung KW - TEM KW - Nanotechnologie PY - 2004 DO - https://doi.org/10.3139/120.100573 SN - 0025-5300 VL - 46 IS - 3 SP - 113 EP - 117 PB - Carl Hanser Verlag CY - München AN - OPUS4-3495 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -