TY - JOUR A1 - Österle, Werner T1 - Bohrer für den Nanometerbereich - Mikrobearbeitung und Gefügedarstellung mit der Technik des fokussierten Ionenstrahls (FIB) T2 - Materialprüfung = Materials testing PB - Carl Hanser Verlag CY - München KW - FIB KW - Mikrobearbeitung KW - TEM KW - Nanotechnologie PY - 2004 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-bam/frontdoor/index/index/docId/3495 AN - OPUS4-3495 SN - 0025-5300 VL - 46 IS - 3 SP - 113 EP - 117 AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany