TY - JOUR A1 - Wendt, U. A1 - Nolze, Gert T1 - FIB-Ätzen und Ionen-Channeling - Der Materialabtrag hängt von der kristallographischen Orientierung ab JF - GIT : Labor-Fachzeitschrift KW - FIB KW - Ionenätzen KW - Kristall PY - 2007 SN - 0016-3538 VL - 51 IS - 10 SP - 848 EP - 851 PB - GIT-Verlag CY - Darmstadt AN - OPUS4-16155 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -