TY - JOUR A1 - Koenders, L. A1 - Dziomba, T. A1 - Thomsen-Schmidt, P. A1 - Senoner, Mathias T1 - Normale für die dimensionelle und analytische Nanometrologie JF - PTB-Mitteilungen KW - Nanometrologie KW - Nanoschichten KW - Nanotechnologie KW - Oberflächenanalytik KW - Zertifiziertes Referenzmaterial PY - 2004 SN - 0030-834X VL - 114 IS - 1 SP - 16 EP - 24 PB - Wirtschaftsverl. NW CY - Bremerhaven AN - OPUS4-3001 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -