TY - CONF A1 - Thomsen-Schmidt, P. A1 - Hasche, K. A1 - Ulm, G. A1 - Herrmann, K. A1 - Krumrey, M. A1 - Ade, G. A1 - Stümpel, J. A1 - Procop, Mathias A1 - Beck, Uwe T1 - Realisation and metrological characterisation of thickness standards below 100 nm T2 - Tagungsband der DVG Jahrestagung 2002 PB - Deutsche Vakuum-Gesellschaft CY - Kaiserslautern T2 - DVG Jahrestagung 2002 CY - Magdeburg, Germany DA - 2002-06-17 PY - 2002 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-bam/frontdoor/index/index/docId/1936 AN - OPUS4-1936 SP - 1 EP - 9 AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany