TY - CONF A1 - Ecker, Klaus T1 - Antimon implantiert in Silizium - Ein Schichtreferenzmaterial für die Oberflächenanalytik T2 - Seminar der Abteilung I, BAM T2 - Seminar der Abteilung I, BAM CY - Berlin, Germany DA - 2002-03-25 PY - 2002 AN - OPUS4-2972 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -