TY - GEN A1 - Rooch, Heidemarie T1 - Zielpräparation mittels Focused Ion Beam für TEM-Untersuchungen, FIB-Präparation an mechanisch stark verformten Oberflächen und an Schichten, bei denen hohe innere Spannungen auftreten T2 - FIB-Workshop T2 - FIB-Workshop CY - Lucerne, Switzerland DA - 2008-07-03 PY - 2008 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-bam/frontdoor/index/index/docId/17685 AN - OPUS4-17685 AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany