TY - GEN A1 - Schulz, Eckhard T1 - Methods for simultaneous measurements of topography and local electric properties using SFM T2 - Dreiländertagung: Elektronenmikroskopie T2 - Dreiländertagung: Elektronenmikroskopie CY - Regensburg, Germany DA - 1997-09-08 PY - 1997 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-bam/frontdoor/index/index/docId/6442 AN - OPUS4-6442 AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany