TY - GEN A1 - Santner, Erich A1 - Spaltmann, Dirk T1 - Reibungsmessungen im Mikro- und Nanobereich T2 - Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik T2 - Tagung 2003 CY - Stuttgart, Deutschland DA - 2003-02-12 PY - 2003 SN - 3-18-091669-9 SN - 0083-5560 N1 - Serientitel: VDI-Berichte – Series title: VDI-Berichte IS - 1669 SP - 191 EP - 200 PB - VDI-Verl. CY - Düsseldorf AN - OPUS4-3154 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -