TY - RPRT A1 - Senoner, Mathias T1 - Report on an inter-laboratory comparison - Measurement of lateral structures in the nanometre range with Secondary Ion Mass Spectrometry; Project "Quality Assurance in Nano-scale Analysis" (Abschlussbericht) PB - Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung CY - Berlin KW - Laterale Auflösung KW - Nanotechnologie KW - Oberflächenanalytik KW - Ringversuch KW - Sekundärionen-Massenspektrometrie KW - SIMS PY - 2003 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-bam/frontdoor/index/index/docId/6879 AN - OPUS4-6879 SP - 1 EP - 34 AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany