TY - JOUR A1 - Heyde, M. A1 - Sturm, Heinz A1 - Geuss, Markus A1 - Ritter, C. A1 - Rademann, K. T1 - Rastersondenmikroskopie als Werkzeug der Lithographie für Nanostrukturen JF - Humboldt-Spektrum PY - 1999 SN - 0946-641X VL - 6 IS - 3 SP - 28 EP - 33 PB - Universität CY - Berlin AN - OPUS4-6861 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -