TY - JOUR A1 - Krüger, Jörg A1 - Kautek, Wolfgang T1 - The Femtosecond Pulse Laser: a New Tool for Micromachining JF - Laser physics KW - Femtosekundenlaser KW - Mikrobearbeitung PY - 1999 SN - 1054-660X SN - 1531-8494 IS - 9,1 SP - 30 EP - 40 PB - MAIK Nauka/Interperiodica Publ. CY - Moscow AN - OPUS4-712 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -