TY - CONF A1 - Krüger, Jörg T1 - Ultrakurze Laserimpulse in der Mikromaterialbearbeitung T2 - Tag der Technik, Fachhochschule für Technik und Wirtschaft (FHTW) T2 - Tag der Technik, Fachhochschule für Technik und Wirtschaft (FHTW) CY - Berlin, Germany DA - 2006-05-19 PY - 2006 AN - OPUS4-12305 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -