TY - CONF A1 - Krüger, Jörg T1 - Mikrobearbeitung mit ultrakurzen Laserimpulsen T2 - Seminar Laser-Materialbearbeitung für die industrielle Fertigung (Photon Laser Engineering) T2 - Seminar Laser-Materialbearbeitung für die industrielle Fertigung (Photon Laser Engineering) CY - Berlin, Germany DA - 2010-03-23 PY - 2010 AN - OPUS4-22574 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -