TY - CONF A1 - Krüger, Jörg T1 - Mikromaterialbearbeitung mit ultrakurzen Laserimpulsen: Vorzüge, Probleme, Sicherheitsaspekte T2 - Seminar "Laser in der Feinbearbeitung" T2 - Seminar "Laser in der Feinbearbeitung" CY - Teltow, Germany DA - 2005-10-22 PY - 2005 AN - OPUS4-10950 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -