TY - CONF A1 - Heunisch, Andreas A1 - Münchow, Marco A1 - Rabe, Torsten T1 - Verformung von LTCC-Multilayern mit vergrabenen Kavitäten im Laminier- und Sinternprozess T2 - Jahrestagung der Deutschen Keramischen Gesellschaft T2 - Jahrestagung der Deutschen Keramischen Gesellschaft CY - Weimar, Germany DA - 2013-03-18 PY - 2013 AN - OPUS4-27871 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -