TY - GEN A1 - Schulze, M. A1 - Staude, Andreas A1 - Neukamm, M. A1 - Neuschaefer-Rube, U. A1 - Goebbels, Jürgen A1 - Bartscher, M. A1 - Bellon, Carsten A1 - Hilpert, U. ED - Weckenmann, A. T1 - Hochgenaue Geometriebestimmung von Mikrobauteilen mit Computertomographie (CT) T2 - Abschlussbericht DFG Schwerpunktprogramm 1159 - Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen N2 - Ziel des Vorhabens ist die hochgenaue und vollständige Erfassung innerer und äußerer Geometrien von Mikrobauteilen mittels Mikro-Computertomographie (µCT). Industriell wichtige Mikrobauteile sind z.B. Einspritzsysteme, Festplattenkomponenten oder Instrumente für die minimal-invasive Chirurgie. Typische Bauteilgrößen liegen hier im Bereich 0,1 mm - 100mm; typische zu messende Strukturen haben Größen von 0,5 µm - 500 µm. Mit klassischen Methoden der Messtechnik ist eine schnelle und hochgenaue Erfassung der gesamten Oberfläche von Mikrobauteilen bisher kaum möglich. Innenstrukturen von Mikrobauteilen können mit keiner optischen oder taktilen Messtechnik zerstörungsfrei gemessen werden. Diese Einschränkungen sollen mittels hochgenauer µCT überwunden werden. Hierzu soll der Messprozess simuliert werden, um die Anwendung von Korrekturverfahren zur Genauigkeitssteigerung zu ermöglichen. CT-Messungen an kalibrierten Mikroprüfkörpern sollen die Korrekturverfahren verifizieren. Für die Kalibrierung der Prüfkörper sollen Multisensor-Verfahren entwickelt und getestet werden. Diese sollen es erlauben, Prüfkörper gleichzeitig hochgenau und mit großer Messpunktdichte zu kalibrieren. Es ist geplant, die an Prüfkörpern erreichten Messunsicherheiten und Auflösungen zum Projektabschluss an realen, industriellen Mikrobauteilen (z.B. Mikrozahnrädern) messtechnisch nachzuweisen. T2 - Abschlusskolloquium DFG Schwerpunktprogramm 1159 - Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen CY - Erlangen, Deutschland DA - 06.10.2010 PY - 2011 SN - 978-3-8440-0358-1 SN - 0945-0769 SP - 36 EP - 52 PB - Shaker Verlag GmbH AN - OPUS4-24875 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -