TY - CONF A1 - Gemeinert, Marion A1 - Schiller, Wolfgang Arno T1 - Glaskeramische LTCC-Folien und multilayer-Technologie für Mikrosysteme / intelligente Sensoren T2 - Sonderkolloquium BAM-BMWA Projekte T2 - Sonderkolloquium BAM-BMWA Projekte CY - Berlin, Germany DA - 2003-09-15 PY - 2003 AN - OPUS4-5301 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -