TY - CONF A1 - Bonse, Jörn T1 - Structural and morphological modifikation of crystalline silicon induced femtosecond laser pulses T2 - internes Seminar des Fraunhofer-Instituts für Keramische Technologien und Systeme (IKTS) T2 - internes Seminar des Fraunhofer-Instituts für Keramische Technologien und Systeme (IKTS) CY - Dresden, Germany DA - 2010-01-20 PY - 2010 AN - OPUS4-20805 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -