TY - GEN A1 - Bonse, Jörn T1 - Nanostrukturierung mit Femtosekundenlaserpulsen T2 - Seminar "Laser in der Feinbearbeitung" des Laserverbundes Berlin Brandenburg e. V. T2 - Seminar "Laser in der Feinbearbeitung" des Laserverbundes Berlin Brandenburg e. V. CY - Brandenburg an der Havel, Germany DA - 2012-04-19 PY - 2012 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-bam/frontdoor/index/index/docId/25681 AN - OPUS4-25681 AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany