TY - CONF A1 - Bonse, Jörn T1 - Bearbeiten und Reinigen mit Laserstrahlungen T2 - Eingeladener Vortrag in durch das Max-Born-Institut organisiertem Workshop T2 - Eingeladener Vortrag in durch das Max-Born-Institut organisiertem Workshop CY - Königs Wusterhausen, Germany DA - 2009-10-05 PY - 2009 AN - OPUS4-20044 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -