TY - CONF A1 - Bonse, Jörn T1 - Nanostrukturierung mit Femtosekundenlaserpulsen T2 - Seminar "Laser in der Feinbearbeitung" des Laserverbundes Berlin Brandenburg e. V. T2 - Seminar "Laser in der Feinbearbeitung" des Laserverbundes Berlin Brandenburg e. V. CY - Brandenburg an der Havel, Germany DA - 2012-04-19 PY - 2012 AN - OPUS4-25681 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -