TY - CONF A1 - Cappella, Brunero A1 - Sturm, Heinz T1 - Stiffness and Adhesion Characterisation of Nanolithographed PMMA T2 - Frühjahrstagung DPG T2 - Frühjahrstagung DPG CY - Regensburg, Germany DA - 2002-03-13 PY - 2002 AN - OPUS4-6530 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -