TY - CONF A1 - Unger, Wolfgang ED - Blasek, G. T1 - Plasmapolymerschichten: Zu den Möglichkeiten einer chemischen Charakterisierung mit den Methoden ESCA, ToF-SIMS und Röntgen-absorptions-Spektroskopie (XAS) T2 - Tagungsband des 12. Neuen Dresdener Vakuumtechnischen Kolloquium (NDVaK) T2 - 12. Neues Dresdener Vakuumtechnisches Kolloquium (NDVaK) CY - Dresden, Deutschland DA - 2004-10-14 KW - ESCA KW - ToF-SIMS KW - XAS KW - Plasma-Polymerisation PY - 2004 SP - 133 EP - 140 PB - Dresdner Transferstelle für Vakuumtechnik CY - Dresden AN - OPUS4-4699 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -