TY - CONF A1 - Österle, Werner T1 - The focused ion beam technique - eine interessante Alternative, auch für konventionelle Werkstoffe T2 - VDEh-Arbeitskreis, Elektronenmicroskopie T2 - VDEh-Arbeitskreis, Elektronenmicroskopie CY - Duisburg, Germany DA - 2002-11-07 PY - 2002 AN - OPUS4-6108 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -