TY - GEN A1 - Senoner, Mathias A1 - Sahre, Mario A1 - Rooch, Heidemarie A1 - Unger, Wolfgang ED - Weckenmann, A. T1 - Neuartige, räumlich strukturierte Testproben für die Bestimmung der Abbildungsqualität und die Kalibrierung der Längenskala in der Rastersondenmikroskopie T2 - Abschlussbericht DFG Schwerpunktprogramm 1159 - Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen T2 - Abschlusskolloquium DFG Schwerpunktprogramm 1159 - Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen CY - Erlangen, Germany DA - 2010-10-06 KW - MOVPE KW - Rasterkraftmikroskopie KW - Referenzmaterial KW - Schichtstapel KW - Selektives Ätzen KW - Spitzencharakterisierer KW - TEM PY - 2011 SN - 978-3-8440-0358-1 SN - 0945-0769 SP - 116 EP - 129 PB - Shaker Verlag GmbH AN - OPUS4-24790 LA - deu AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -