TY - CONF A1 - Unger, Wolfgang A1 - Swaraj, Sufal A1 - Oran, Umut A1 - Lippitz, Andreas A1 - Retzko, Iris A1 - Matsubayashi, N. T1 - Pulsed R. F. Plasma-polymerized Films Prepared From Small Organic Monomers: Characterization by XAS, XPS und ToF-SIMS T2 - 12. Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie der Deutschen Gesellschaft für Plasmatechnologie T2 - 12. Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie der Deutschen Gesellschaft für Plasmatechnologie CY - Braunschweig, Germany DA - 2005-03-21 PY - 2005 AN - OPUS4-7293 LA - eng AD - Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Berlin, Germany ER -