• search hit 2 of 50
Back to Result List

Kinetic studies on acidic wet chemical etching of silicon in binary and ternary mixtures of HF, HNO3 and H2SiF6

Export metadata

Additional Services

Search Google Scholar
Metadaten
Author: Anja RietigORCiD, Jörg AckerORCiDGND
DOI:https://doi.org/10.1039/d3cp03188h
ISSN:1463-9084
ISSN:1463-9076
Title of the source (English):Physical Chemistry Chemical Physics
Document Type:Scientific journal article peer-reviewed
Language:English
Year of publication:2023
Volume/Year:25
Issue number:38
First Page:26245
Last Page:26257
Faculty/Chair:Fakultät 2 Umwelt und Naturwissenschaften / FG Physikalische Chemie
Einverstanden ✔
Diese Webseite verwendet technisch erforderliche Session-Cookies. Durch die weitere Nutzung der Webseite stimmen Sie diesem zu. Unsere Datenschutzerklärung finden Sie hier.